硬件:菲涅爾光電遠心鏡頭或者遠心線掃鏡頭,adimec相機,三色同軸點光源,定制版顯微鏡筒;
難點:1、色差控制,因需要多色光源,分別照射樣品。如果色差控制不準,會出現(xiàn)虛焦現(xiàn)象。對機臺的一致性有巨大威脅。
2、提升掃描速度,如何快速發(fā)現(xiàn)缺陷,并識別缺陷類型;
方案:通過大靶面遠心面陣鏡頭或者線掃鏡頭,快速掃描晶圓,確定缺陷位置;再通過高倍顯微系統(tǒng)識別缺陷類型,確定樣品的OK或者NG
優(yōu)勢:1、菲涅爾光學提供高倍率大靶面的遠心面陣或者遠心線掃鏡頭,優(yōu)秀的色差控制,可以簡化檢測流程,實現(xiàn)多光譜檢測;2、提供高分辨率,同時有較大視野,實現(xiàn)晶圓快速掃描,發(fā)現(xiàn)缺陷位置。3、定制科勒照明顯微鏡筒搭配高倍顯微物鏡,輕易的識別缺陷類型。
菲涅爾光學鏡頭的色差控制均在12um以內(nèi),十分符合三色光源檢查或者四色光源檢查的條件。優(yōu)秀的色差控制,使得機臺不用二次對焦,降低機臺開發(fā)難度,提高了檢查效率。
地址:濰坊市高新區(qū)高新大廈1319室
郵箱:kevin0727@fresnel-china.com