硬件：菲涅爾光電遠心鏡頭或者遠心線掃鏡頭，adimec相機，三色同軸點光源，定制版顯微鏡筒；
難點：1、色差控制，因需要多色光源，分別照射樣品。如果色差控制不準，會出現(xiàn)虛焦現(xiàn)象。對機臺的一致性有巨大威脅。
2、提升掃描速度，如何快速發(fā)現(xiàn)缺陷，并識別缺陷類型；
方案：通過大靶面遠心面陣鏡頭或者線掃鏡頭，快速掃描晶圓，確定缺陷位置；再通過高倍顯微系統(tǒng)識別缺陷類型，確定樣品的OK或者NG
優(yōu)勢：1、菲涅爾光學提供高倍率大靶面的遠心面陣或者遠心線掃鏡頭，優(yōu)秀的色差控制，可以簡化檢測流程，實現(xiàn)多光譜檢測；2、提供高分辨率，同時有較大視野，實現(xiàn)晶圓快速掃描，發(fā)現(xiàn)缺陷位置。3、定制科勒照明顯微鏡筒搭配高倍顯微物鏡，輕易的識別缺陷類型。
菲涅爾光學鏡頭的色差控制均在12um以內(nèi)，十分符合三色光源檢查或者四色光源檢查的條件。優(yōu)秀的色差控制，使得機臺不用二次對焦，降低機臺開發(fā)難度，提高了檢查效率。
地址：濰坊市高新區(qū)高新大廈1319室
郵箱：kevin0727@fresnel-china.com
